Requisitos para las salas limpias en la industria de semiconductores

Los requisitos para las salas limpias en la industria de semiconductores son los siguientes:
1. Requisitos de alta limpieza
La fabricación de semiconductores requiere un entorno muy limpio. La limpieza del aire en las salas limpias varía según los requisitos de los diferentes procesos de semiconductores, generalmente cumpliendo con los estándares de Clase 1 (igual o inferior a 1 partícula de 0,1 micras por pie cúbico) a Clase 100 (igual o inferior a 100 partículas de 0,5 micras por pie cúbico).
2. Control preciso de la temperatura y la humedad
Los materiales semiconductores son muy sensibles a la temperatura y la humedad. La sala limpia debe controlarse estrictamente a 20-25 °C, con un rango de humedad relativa del 40-60% y fluctuaciones que no excedan ± 1 °C y ± 5% HR.
3. Suministro y distribución de energía confiables y estables
La sala limpia requiere un sistema dedicado de suministro y distribución de energía para proporcionar un suministro de energía estable y redundante, asegurando el funcionamiento normal e ininterrumpido de los equipos de proceso. Al mismo tiempo, es necesario tener funciones de protección y filtrado para evitar interferencias de energía.
4. Flujo razonable de aire libre de polvo
Las salas limpias deben estar equipadas con sistemas de filtración y circulación de aire libre de polvo para garantizar una distribución razonable del flujo de aire y sin rincones muertos, de modo que el aire limpio pueda llegar completamente a cada rincón. La velocidad del flujo de aire y la presión del aire también deben controlarse estrictamente para evitar que el aire externo fluya hacia atrás o perturbe.
5. Diseño sísmico completo
Considerando los requisitos de estabilidad de los procesos de semiconductores, las salas limpias generalmente necesitan adoptar medidas resistentes a los golpes para reducir el impacto de las vibraciones externas en el proceso. La base debe ser suficientemente estable y estar equipada con dispositivos de amortiguación.
6. La selección de materiales es libre de polvo y libre de contaminación
El material de la superficie de la sala limpia debe ser libre de polvo y libre de contaminación, y no producirá partículas. El acero inoxidable, las placas de aluminio, el vidrio templado y otros materiales se utilizan comúnmente. Se necesita instalar una cortina de aire en la entrada para evitar la entrada de polvo.